
PHS树脂是一种用于深紫表光刻胶的高机能感光树脂,宽泛利用于半导体芯片造作中的光刻工艺环节。其主题肠能蕴含高纯度、高分辨率、优异的热不变性和化学不变性,可能满足半导体造作对高精度、高靠得住性的严苛要求,有效提升光刻胶在芯片图案化过程中的成像质量和工艺不变性。此表,还可用于电子封装资料、涂料和粘合剂等领域。
| 检测项目 | 指标-1 | 指标-2 |
| 表观 | 淡黄色通明液体 | 淡黄色通明液体 |
| 固含量/% | ≥35.0 | ≥35.0 |
| 沉均分子量(Mw) | 10000±2000 | 14000±1000 |
| 分子量散布宽度(PD) | ≤1.55 | ≤1.25 |
| 单金属离子含量/ppb | <10 | <10 |
注:可凭据客户要求定造分歧结构、分子量、金杂含量的产品。
包装:选取电子级塑料桶包装,每桶沉量1kg、2kg、5kg、10kg或20kg�?善揪菘突枰ㄔ�。贮存:阴凉处贮存,预防阳光直射,远离热源,贮存期12个月。
操作时把稳劳动�;�,应预防与皮肤、眼睛等直接接触,接触后用大量净水冲刷。